A szilícium -karbidtermelés bővítése a speciális berendezések gyors fejlesztését vezérli
Jul 28,2022
A szilícium -karbid -energiakészülékek felgyorsítják a behatolást az autóiparban és más alkalmazási területeken, hatalmas piaci teret mutatva és különféle gyártókat vonzanak a termelés bővítésének fokozása érdekében. Miután a Wolfspeed első 8 hüvelykes vonalát a gyártásba helyezték, a Bosch Group, a ROHM, az Infineon, a Toshiba nemrégiben bejelentették a szilícium-karbid-gyártási vonalak bővítését és új építését.
A hagyományos szilícium ostya gyártósorokkal összehasonlítva a szilícium -karbid -gyártási folyamat eltérő igényeket igényel a berendezésekre.
A Giuseppe Aréna, a STMicroelectronics Automotive Power Device Projekt igazgatója elmondta, hogy a széles sávú anyagok egyedi fizikai és kémiai tulajdonságai miatt a szilícium-karbid gyártási folyamat meglehetősen különbözik a hagyományos szilícium-alapú energiaellátástól az epitaxiális növekedésben, ion implantációban. és magas hőmérsékletű lágyítás. A modulokat, például a speciális kamrákat úgy tervezték, hogy szabályozzák a hibákat és javítsák a termelékenységet. Különleges eszközökre van szükség a maratáshoz, a vékonyításhoz és az egyéb linkekhez is.
A folyamat és a berendezések érett érlelésekor néhány IDM vállalat fontolóra veszi az elavult 6 hüvelykes szilícium-ostya gyártósor átalakítását szilícium-karbid-gyártósormá. Az iparági szakértők becslése szerint csak 20 millió dollár beruházásra van szükség a folyamat kiigazításához és egy kis mennyiségű speciális berendezés megvásárlásához. Ez a fajta gyártósor -átalakulás befejezhető.
Jelenleg a munkamegosztás és a specializáció megkezdődött ezen a területen, és az olyan vállalatok, mint az X-FAB, már lábát állították be a Szilícium-karbid öntödei üzletében.
A Skóciában, az Egyesült Királyságban található CLAS-SIC egy 6 hüvelykes szilícium-karbid-öntödei gyártót üzemeltet. A gyártósor 10-15% -a szilícium-karbid-berendezések dedikált, és a fennmaradó berendezések nagy részét a szilícium ostya gyártósorokból felújítják. Rae Hyndman szerint a vállalat felelõs a szilícium-karbid-iparág szerint a szűk keresztmetszeteknél a használt berendezések vásárlásakor is.
A szilícium -karbid -piac ígéretes, és vonzza a berendezésgyártókat is, hogy növeljék a beruházásokat ezen a területen. David Haynes, a Fanlin műszaki szakértője elmondta, hogy az utóbbi a szilícium -ostya -folyamatokhoz kifejlesztett berendezések által kifejlesztett berendezések szembesülése az utóbbi. Szinte átlátszó a látható és közel infravörös régiókban, az érzékelési modult optimalizálni kell.
Egy másik felszerelési óriás, az Applied Anyagok, számos speciális szilícium -karbid -berendezést is elindított. A szilícium -karbid speciális fizikai és kémiai tulajdonságaira tervezett CMP berendezése állítólag jelentősen csökkenti a szilícium -karbid -ostyák felszíni hibáit - állítja Sally Ann Henry, a Shengmei Company üzleti fejlesztési igazgatója. Azt mondta, hogy a jelenlegi szilícium-karbid speciális berendezések piaca még mindig a fejlesztés korai szakaszában van, és a legtöbb IDM még mindig 6 hüvelykes gyártási vezetékeket működtet. (hídszerszámok) nagyon vonzó lesz. Az ilyen berendezéseket először be lehet vezetni a 6 hüvelykes gyártósorba. Mivel a legfejlettebb észlelési modullal van felszerelve, gyorsan alkalmazkodhat a jövőbeni 8 hüvelykes gyártósorhoz, miután kicseréli a szerelvényt, a betöltő és kirakodó modulokat. Huzal.
A hagyományos szilícium ostya gyártósorokkal összehasonlítva a szilícium -karbid -gyártási folyamat eltérő igényeket igényel a berendezésekre.
A Giuseppe Aréna, a STMicroelectronics Automotive Power Device Projekt igazgatója elmondta, hogy a széles sávú anyagok egyedi fizikai és kémiai tulajdonságai miatt a szilícium-karbid gyártási folyamat meglehetősen különbözik a hagyományos szilícium-alapú energiaellátástól az epitaxiális növekedésben, ion implantációban. és magas hőmérsékletű lágyítás. A modulokat, például a speciális kamrákat úgy tervezték, hogy szabályozzák a hibákat és javítsák a termelékenységet. Különleges eszközökre van szükség a maratáshoz, a vékonyításhoz és az egyéb linkekhez is.
A folyamat és a berendezések érett érlelésekor néhány IDM vállalat fontolóra veszi az elavult 6 hüvelykes szilícium-ostya gyártósor átalakítását szilícium-karbid-gyártósormá. Az iparági szakértők becslése szerint csak 20 millió dollár beruházásra van szükség a folyamat kiigazításához és egy kis mennyiségű speciális berendezés megvásárlásához. Ez a fajta gyártósor -átalakulás befejezhető.
Jelenleg a munkamegosztás és a specializáció megkezdődött ezen a területen, és az olyan vállalatok, mint az X-FAB, már lábát állították be a Szilícium-karbid öntödei üzletében.
A Skóciában, az Egyesült Királyságban található CLAS-SIC egy 6 hüvelykes szilícium-karbid-öntödei gyártót üzemeltet. A gyártósor 10-15% -a szilícium-karbid-berendezések dedikált, és a fennmaradó berendezések nagy részét a szilícium ostya gyártósorokból felújítják. Rae Hyndman szerint a vállalat felelõs a szilícium-karbid-iparág szerint a szűk keresztmetszeteknél a használt berendezések vásárlásakor is.
A szilícium -karbid -piac ígéretes, és vonzza a berendezésgyártókat is, hogy növeljék a beruházásokat ezen a területen. David Haynes, a Fanlin műszaki szakértője elmondta, hogy az utóbbi a szilícium -ostya -folyamatokhoz kifejlesztett berendezések által kifejlesztett berendezések szembesülése az utóbbi. Szinte átlátszó a látható és közel infravörös régiókban, az érzékelési modult optimalizálni kell.
Egy másik felszerelési óriás, az Applied Anyagok, számos speciális szilícium -karbid -berendezést is elindított. A szilícium -karbid speciális fizikai és kémiai tulajdonságaira tervezett CMP berendezése állítólag jelentősen csökkenti a szilícium -karbid -ostyák felszíni hibáit - állítja Sally Ann Henry, a Shengmei Company üzleti fejlesztési igazgatója. Azt mondta, hogy a jelenlegi szilícium-karbid speciális berendezések piaca még mindig a fejlesztés korai szakaszában van, és a legtöbb IDM még mindig 6 hüvelykes gyártási vezetékeket működtet. (hídszerszámok) nagyon vonzó lesz. Az ilyen berendezéseket először be lehet vezetni a 6 hüvelykes gyártósorba. Mivel a legfejlettebb észlelési modullal van felszerelve, gyorsan alkalmazkodhat a jövőbeni 8 hüvelykes gyártósorhoz, miután kicseréli a szerelvényt, a betöltő és kirakodó modulokat. Huzal.